1.控制電源組成及說(shuō)明

控制電源是由八個(gè)電源單元和單片控制組成，電源單元包括物鏡電源、聚光鏡電源、對(duì)中電源、動(dòng)態(tài)聚焦電源、消像散電源、偏轉(zhuǎn)電源（偏轉(zhuǎn)1、2）、束閘電源和電流檢測(cè)。其中對(duì)中電源為2路輸出，消像散電源為4組（4路）輸出，偏轉(zhuǎn)電源為8組（16路）輸出，電流檢測(cè)為2路。另外，控制電源內(nèi)部設(shè)置三個(gè)溫度傳感器（DS18B20）監(jiān)測(cè)點(diǎn)，分別位于物鏡/聚光鏡電源、對(duì)中電源、DC/DC電源上，可實(shí)時(shí)進(jìn)行溫度監(jiān)測(cè)。

控制電源整機(jī)由一臺(tái)3U（D=600mm）上架式標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱構(gòu)成，前面板安裝有交流供電控制開(kāi)關(guān)，后面板配有相應(yīng)的輸入、輸出端口，以及RS-485通訊接口。RS-485通訊接口除具有遠(yuǎn)程通訊功能外，還復(fù)用有Interlock功能。

2.控制電源規(guī)格說(shuō)明

2.1整機(jī)主要指標(biāo)

? 供電電壓： AC220V ±10% ，50Hz；

? 工作溫度范圍：15 ℃~ +50 ℃

? 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~ +80 ℃

? 相對(duì)濕度：< 70% RH

? 預(yù)熱時(shí)間：30分

? 外形尺寸： 3U標(biāo)準(zhǔn)上架機(jī)箱（D=600mm）

2.2各電源單元技術(shù)指標(biāo)及說(shuō)明

2.2.1對(duì)中電源和動(dòng)態(tài)聚焦電源

? 輸出電流：-0.5A ~ +0.5A（恒流，連續(xù)可調(diào)）

? 輸出最高電壓： 2.5V

? 負(fù)載特性：感性負(fù)載

? 輸出負(fù)載電阻：≤5Ω

? 輸出電流波形：直流輸出

? 顯示和調(diào)節(jié)分辨率：≤50uA

? 精確度：≤±500uA

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預(yù)熱時(shí)間后）

? 紋波（mAp-p）：≤ 0.5mA（額定負(fù)載）

? 輸出路數(shù)：對(duì)中電源為兩路輸出；動(dòng)態(tài)聚焦電源為一路

? 遠(yuǎn)程通訊信號(hào)：三路輸出電流調(diào)節(jié)、三路輸出電流監(jiān)測(cè)（或顯示）、三路啟停控制

該電源為電流源，共三路輸出，各路有獨(dú)立的電流調(diào)節(jié)、監(jiān)測(cè)和啟停控制。

2.2.2聚光鏡電源

? 輸出電流：25mA ~ +2.5A（恒流，連續(xù)可調(diào)）

? 輸出最高電壓： 18V

? 負(fù)載特性：感性負(fù)載

? 輸出負(fù)載電阻：≤7Ω

? 輸出電流波形：直流輸出

? 精確度：≤±2.5mA

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預(yù)熱時(shí)間后）

? 負(fù)載調(diào)整率：≤0.1%（負(fù)載從5Ω~7Ω負(fù)載）

? 輸出電流紋波（mAp-p）：≤ 2.5mA（額定負(fù)載）

? 輸出路數(shù)：?jiǎn)温份敵?/p>

? 遠(yuǎn)程通訊信號(hào)：輸出電流調(diào)節(jié)、輸出電流監(jiān)測(cè)（或顯示）、啟停控制

2.2.3物鏡電源

? 輸出電流：25mA ~ +2.5A（恒流，連續(xù)可調(diào)）

? 輸出最高電壓： 18V

? 負(fù)載特性：感性負(fù)載

? 輸出負(fù)載電阻：≤7Ω

? 輸出電流波形：直流輸出

? 顯示和調(diào)節(jié)分辨率：≤0.5mA/0.2mA

? 精確度：≤±2.5mA

? 顯示精度（線性度）：≤0.1%+0.1% F.S.

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預(yù)熱時(shí)間后）

? 負(fù)載調(diào)整率：≤0.1%（負(fù)載從5Ω~7Ω負(fù)載）

? 紋波（mAp-p）：≤ 2.5mA（額定負(fù)載）

? 輸出路數(shù)：?jiǎn)温份敵?/p>

? 遠(yuǎn)程通訊信號(hào)：輸出電流調(diào)節(jié)、輸出電流監(jiān)測(cè)（或顯示）、啟停控制

2.2.4束閘電源

? 輸出電壓幅值：0 ~ 300V（連續(xù)可調(diào)，通訊設(shè)置）

? 輸出最大電流： 5mA

? 負(fù)載特性：容性負(fù)載

? 脈沖頻率：手動(dòng)開(kāi)關(guān)或PWM模式≤1kHz（通訊設(shè)置）

? 輸出脈沖上升時(shí)間：≤1us（@1kHz，1%）

? 輸出脈沖下降時(shí)間：≤1us（@1kHz，1%）

? 占空比：1%~99%（通訊設(shè)置，默認(rèn)值50%）

? 關(guān)斷最高電壓：300V±2V；-300V±2V

? 開(kāi)啟電壓：＜1V

? 輸出路數(shù)：?jiǎn)温份敵?/p>

? 遠(yuǎn)程通訊信號(hào)：輸出電壓調(diào)節(jié)、輸出電壓監(jiān)測(cè)（或顯示）、輸出觸發(fā)控制、啟停控制

2.2.5消像散電源

? 輸出電壓：-100V ~ +100V或+100V ~ -100V（連續(xù)可調(diào)，全程線性）

? 輸出最大電流： 1mA（在電源內(nèi)部各路輸出端串接200kΩ電阻前測(cè)試）

? 輸出電壓波形：直流輸出

? 精確度：≤±100mV

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預(yù)熱時(shí)間后）

? 輸出電壓紋波（Vp-p）：≤10mV

? 輸出路數(shù)：共4組（4路）輸出（見(jiàn)“注釋”）

? 遠(yuǎn)程通訊信號(hào)：輸出電壓調(diào)節(jié)、輸出電壓監(jiān)測(cè)（或顯示）、啟停控制

該電源為電壓源，共有四個(gè)控制信號(hào)，每個(gè)控制信號(hào)控制一組輸出，每組一路，共4組（4路）輸出，各路輸出連續(xù)可調(diào)

（注釋：上述四路輸出各一分為二，在實(shí)際輸出端口（DB15孔）為八路輸出。）

2.2.6偏轉(zhuǎn)1和偏轉(zhuǎn)2 電源

? 輸出電壓：V01-1：-100V ~ +100V或+100V ~ -100V（連續(xù)可調(diào)，全程線性）
V01-2：+100V ~ -100V或-100V ~ +100V（連續(xù)可調(diào)，全程線性）

? 輸出最大電流： 1mA（在電源內(nèi)部各路輸出端串接200kΩ電阻前測(cè)試）

? 輸出電壓波形：直流輸出

? 負(fù)載特性：容性負(fù)載（＜10pF）

? 顯示和調(diào)節(jié)分辨率：≤0.02V

? 精確度：≤±100mV

? 顯示精度（線性度）：≤0.01%+0.01% F.S.

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預(yù)熱時(shí)間后）

? 輸出電壓紋波（Vp-p）：≤20mV

? 輸出路數(shù)：各4組（8路）輸出

? 遠(yuǎn)程通訊信號(hào)：輸出電壓調(diào)節(jié)、輸出電壓監(jiān)測(cè)（或顯示）、啟停控制

偏轉(zhuǎn)1、2電源均為電壓源，各有4組（8路）輸出，各路輸出連續(xù)可調(diào)。每個(gè)電源有四個(gè)控制調(diào)節(jié)信號(hào)，每個(gè)控制信號(hào)控制一組輸出，每組輸出兩路，且互為相反的電壓。

2.2.7電流檢測(cè)1和電流檢測(cè)2

? 檢測(cè)電流范圍：0~5mA（負(fù)電流信號(hào)）

? 檢測(cè)電流分辨率：0.5uA

? 精確度：≤±1uA

? 顯示精度（線性度）：≤0.01%+0.01% F.S.

? 采樣頻率： 10~100Hz

? 遠(yuǎn)程通訊信號(hào)：兩路輸出電流監(jiān)測(cè)（或顯示）

2.3控制模式

除電流檢測(cè)1、2外，所有電源控制只有遠(yuǎn)程控制模式，上位機(jī)通過(guò)RS-485通訊接口，對(duì)各電源單元的相關(guān)參量實(shí)時(shí)進(jìn)行控制和監(jiān)測(cè)。

3.部件組成及功能說(shuō)明

3.1前面板組成及功能說(shuō)明（見(jiàn)圖3.1）

? 電源開(kāi)關(guān)（1）：電源整機(jī)交流供電通斷開(kāi)關(guān)。

3.2后面板組成及功能說(shuō)明（見(jiàn)圖3.2）

? RS485（2）：RS-485通訊接口和Interlock控制開(kāi)關(guān)。通訊接口實(shí)現(xiàn)上位機(jī)與控制電源的遠(yuǎn)程通訊；Interlock為各電源單元的啟動(dòng)使能控制開(kāi)關(guān)

? AC 220V（3）：交流供電（AC220V）輸入端口

? “⊥”（4）：接地螺柱，機(jī)箱標(biāo)準(zhǔn)配置。該螺柱在內(nèi)部已與外殼及交流供電保護(hù)地相連

? 物鏡（10）：物鏡電源輸出端口。該端口為一Φ16/3P航空連接器（針）

? 束閘（9）：束閘電壓輸出端口。該端口為一Φ12/5P航空連接器（針）

? 聚光鏡（5）：聚光鏡電源輸出端口。該端口為一Φ16/3P航空連接器（針）

? 動(dòng)態(tài)聚焦（8）：動(dòng)態(tài)聚焦電源輸出端口。該端口為一Φ16/4P航空連接器（針）

? 電流檢測(cè)2（6）：電流檢測(cè)2輸入端口。該端口為一Φ12/3P航空連接器（針）

? 對(duì)中&電流檢測(cè)1（7）：該端口包括兩路對(duì)中電源輸出和電流檢測(cè)1輸入。該端口為一Φ18/7P航空連接器（孔）

? 消像散（11）：消像散電源（四路）輸出端口。該端口為一DB15連接器（孔）

? 偏轉(zhuǎn)1（12）：偏轉(zhuǎn)電源1~4組（共八路）輸出端口。該端口為一DB15連接器 （孔）

? 偏轉(zhuǎn)2（13）：偏轉(zhuǎn)電源5~8組（共八路）輸出端口。該端口為一DB15連接器（孔）

4.控制電源整機(jī)結(jié)構(gòu)尺寸

4.1軸測(cè)圖

4.2整機(jī)結(jié)構(gòu)尺寸

控制電源整機(jī)為3U（D=600mm）標(biāo)準(zhǔn)上架機(jī)箱（白色），如圖4.2。外形尺寸（WxHxD）： 483 x 133 x 603 mm。

4.3機(jī)箱材質(zhì)及表面處理

機(jī)箱主體通過(guò)鈑金折彎工藝制造而成，采用優(yōu)質(zhì)鋁合金材質(zhì)(6061和5052)等制造.前后面均與前后堵板連接，前后堵板與中箱體連接，既保證箱體的整體強(qiáng)度,又利于設(shè)備的安裝、維護(hù)及散熱；上蓋及前面板鋁合金表面采用靜電噴漆處理，提高箱體的耐腐蝕能力。

5.使用注意事項(xiàng)

（1）控制電源上電之前，須仔細(xì)檢查其與用戶負(fù)載的連接，須確保極性正確，連接可靠，以免損壞用戶設(shè)備。

（2）各電源單元須在指標(biāo)允許范圍內(nèi)工作。

（3）控制電源在工作中出現(xiàn)任何異常情況，應(yīng)立刻關(guān)閉交流供電，查找故障原因。

（4）重要提示：各電源輸出不支持長(zhǎng)時(shí)間短路工作！

（5）本控制電源應(yīng)在潔凈、通風(fēng)、干燥的環(huán)境下工作，禁止在潮濕、多灰塵等較惡劣的環(huán)境下使用。

（6）控制電源在運(yùn)行過(guò)程時(shí)，禁止隨意移動(dòng)或劇烈振動(dòng)。

（7）在保修期內(nèi)，切勿隨意對(duì)控制電源內(nèi)部自行改動(dòng)（如：拆改內(nèi)部線路、變更機(jī)械結(jié)構(gòu)等），以免造成整機(jī)損壞，不利于今后的維修和維護(hù)。

6.配置清單