1.控制電源組成及說明

控制電源是由八個電源單元和單片控制組成，電源單元包括物鏡電源、聚光鏡電源、對中電源、動態(tài)聚焦電源、消像散電源、偏轉電源（偏轉1、2）、束閘電源和電流檢測。其中對中電源為2路輸出，消像散電源為4組（4路）輸出，偏轉電源為8組（16路）輸出，電流檢測為2路。另外，控制電源內(nèi)部設置三個溫度傳感器（DS18B20）監(jiān)測點，分別位于物鏡/聚光鏡電源、對中電源、DC/DC電源上，可實時進行溫度監(jiān)測。

控制電源整機由一臺3U（D=600mm）上架式標準機箱構成，前面板安裝有交流供電控制開關，后面板配有相應的輸入、輸出端口，以及RS-485通訊接口。RS-485通訊接口除具有遠程通訊功能外，還復用有Interlock功能。

2.控制電源規(guī)格說明

2.1整機主要指標

? 供電電壓： AC220V ±10% ，50Hz；

? 工作溫度范圍：15 ℃~ +50 ℃

? 存儲溫度范圍：-20℃~ +80 ℃

? 相對濕度：< 70% RH

? 預熱時間：30分

? 外形尺寸： 3U標準上架機箱（D=600mm）

2.2各電源單元技術指標及說明

2.2.1對中電源和動態(tài)聚焦電源

? 輸出電流：-0.5A ~ +0.5A（恒流，連續(xù)可調）

? 輸出最高電壓： 2.5V

? 負載特性：感性負載

? 輸出負載電阻：≤5Ω

? 輸出電流波形：直流輸出

? 顯示和調節(jié)分辨率：≤50uA

? 精確度：≤±500uA

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預熱時間后）

? 紋波（mAp-p）：≤ 0.5mA（額定負載）

? 輸出路數(shù)：對中電源為兩路輸出；動態(tài)聚焦電源為一路

? 遠程通訊信號：三路輸出電流調節(jié)、三路輸出電流監(jiān)測（或顯示）、三路啟停控制

該電源為電流源，共三路輸出，各路有獨立的電流調節(jié)、監(jiān)測和啟停控制。

2.2.2聚光鏡電源

? 輸出電流：25mA ~ +2.5A（恒流，連續(xù)可調）

? 輸出最高電壓： 18V

? 負載特性：感性負載

? 輸出負載電阻：≤7Ω

? 輸出電流波形：直流輸出

? 精確度：≤±2.5mA

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預熱時間后）

? 負載調整率：≤0.1%（負載從5Ω~7Ω負載）

? 輸出電流紋波（mAp-p）：≤ 2.5mA（額定負載）

? 輸出路數(shù)：單路輸出

? 遠程通訊信號：輸出電流調節(jié)、輸出電流監(jiān)測（或顯示）、啟停控制

2.2.3物鏡電源

? 輸出電流：25mA ~ +2.5A（恒流，連續(xù)可調）

? 輸出最高電壓： 18V

? 負載特性：感性負載

? 輸出負載電阻：≤7Ω

? 輸出電流波形：直流輸出

? 顯示和調節(jié)分辨率：≤0.5mA/0.2mA

? 精確度：≤±2.5mA

? 顯示精度（線性度）：≤0.1%+0.1% F.S.

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預熱時間后）

? 負載調整率：≤0.1%（負載從5Ω~7Ω負載）

? 紋波（mAp-p）：≤ 2.5mA（額定負載）

? 輸出路數(shù)：單路輸出

? 遠程通訊信號：輸出電流調節(jié)、輸出電流監(jiān)測（或顯示）、啟停控制

2.2.4束閘電源

? 輸出電壓幅值：0 ~ 300V（連續(xù)可調，通訊設置）

? 輸出最大電流： 5mA

? 負載特性：容性負載

? 脈沖頻率：手動開關或PWM模式≤1kHz（通訊設置）

? 輸出脈沖上升時間：≤1us（@1kHz，1%）

? 輸出脈沖下降時間：≤1us（@1kHz，1%）

? 占空比：1%~99%（通訊設置，默認值50%）

? 關斷最高電壓：300V±2V；-300V±2V

? 開啟電壓：＜1V

? 輸出路數(shù)：單路輸出

? 遠程通訊信號：輸出電壓調節(jié)、輸出電壓監(jiān)測（或顯示）、輸出觸發(fā)控制、啟停控制

2.2.5消像散電源

? 輸出電壓：-100V ~ +100V或+100V ~ -100V（連續(xù)可調，全程線性）

? 輸出最大電流： 1mA（在電源內(nèi)部各路輸出端串接200kΩ電阻前測試）

? 輸出電壓波形：直流輸出

? 精確度：≤±100mV

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預熱時間后）

? 輸出電壓紋波（Vp-p）：≤10mV

? 輸出路數(shù)：共4組（4路）輸出（見“注釋”）

? 遠程通訊信號：輸出電壓調節(jié)、輸出電壓監(jiān)測（或顯示）、啟停控制

該電源為電壓源，共有四個控制信號，每個控制信號控制一組輸出，每組一路，共4組（4路）輸出，各路輸出連續(xù)可調

（注釋：上述四路輸出各一分為二，在實際輸出端口（DB15孔）為八路輸出。）

2.2.6偏轉1和偏轉2 電源

? 輸出電壓：V01-1：-100V ~ +100V或+100V ~ -100V（連續(xù)可調，全程線性）
V01-2：+100V ~ -100V或-100V ~ +100V（連續(xù)可調，全程線性）

? 輸出最大電流： 1mA（在電源內(nèi)部各路輸出端串接200kΩ電阻前測試）

? 輸出電壓波形：直流輸出

? 負載特性：容性負載（＜10pF）

? 顯示和調節(jié)分辨率：≤0.02V

? 精確度：≤±100mV

? 顯示精度（線性度）：≤0.01%+0.01% F.S.

? 穩(wěn)定度：≤ 100ppm／8h（預熱時間后）

? 輸出電壓紋波（Vp-p）：≤20mV

? 輸出路數(shù)：各4組（8路）輸出

? 遠程通訊信號：輸出電壓調節(jié)、輸出電壓監(jiān)測（或顯示）、啟停控制

偏轉1、2電源均為電壓源，各有4組（8路）輸出，各路輸出連續(xù)可調。每個電源有四個控制調節(jié)信號，每個控制信號控制一組輸出，每組輸出兩路，且互為相反的電壓。

2.2.7電流檢測1和電流檢測2

? 檢測電流范圍：0~5mA（負電流信號）

? 檢測電流分辨率：0.5uA

? 精確度：≤±1uA

? 顯示精度（線性度）：≤0.01%+0.01% F.S.

? 采樣頻率： 10~100Hz

? 遠程通訊信號：兩路輸出電流監(jiān)測（或顯示）

2.3控制模式

除電流檢測1、2外，所有電源控制只有遠程控制模式，上位機通過RS-485通訊接口，對各電源單元的相關參量實時進行控制和監(jiān)測。

3.部件組成及功能說明

3.1前面板組成及功能說明（見圖3.1）

? 電源開關（1）：電源整機交流供電通斷開關。

3.2后面板組成及功能說明（見圖3.2）

? RS485（2）：RS-485通訊接口和Interlock控制開關。通訊接口實現(xiàn)上位機與控制電源的遠程通訊；Interlock為各電源單元的啟動使能控制開關

? AC 220V（3）：交流供電（AC220V）輸入端口

? “⊥”（4）：接地螺柱，機箱標準配置。該螺柱在內(nèi)部已與外殼及交流供電保護地相連

? 物鏡（10）：物鏡電源輸出端口。該端口為一Φ16/3P航空連接器（針）

? 束閘（9）：束閘電壓輸出端口。該端口為一Φ12/5P航空連接器（針）

? 聚光鏡（5）：聚光鏡電源輸出端口。該端口為一Φ16/3P航空連接器（針）

? 動態(tài)聚焦（8）：動態(tài)聚焦電源輸出端口。該端口為一Φ16/4P航空連接器（針）

? 電流檢測2（6）：電流檢測2輸入端口。該端口為一Φ12/3P航空連接器（針）

? 對中&電流檢測1（7）：該端口包括兩路對中電源輸出和電流檢測1輸入。該端口為一Φ18/7P航空連接器（孔）

? 消像散（11）：消像散電源（四路）輸出端口。該端口為一DB15連接器（孔）

? 偏轉1（12）：偏轉電源1~4組（共八路）輸出端口。該端口為一DB15連接器 （孔）

? 偏轉2（13）：偏轉電源5~8組（共八路）輸出端口。該端口為一DB15連接器（孔）

4.控制電源整機結構尺寸

4.1軸測圖

4.2整機結構尺寸

控制電源整機為3U（D=600mm）標準上架機箱（白色），如圖4.2。外形尺寸（WxHxD）： 483 x 133 x 603 mm。

4.3機箱材質及表面處理

機箱主體通過鈑金折彎工藝制造而成，采用優(yōu)質鋁合金材質(6061和5052)等制造.前后面均與前后堵板連接，前后堵板與中箱體連接，既保證箱體的整體強度,又利于設備的安裝、維護及散熱；上蓋及前面板鋁合金表面采用靜電噴漆處理，提高箱體的耐腐蝕能力。

5.使用注意事項

（1）控制電源上電之前，須仔細檢查其與用戶負載的連接，須確保極性正確，連接可靠，以免損壞用戶設備。

（2）各電源單元須在指標允許范圍內(nèi)工作。

（3）控制電源在工作中出現(xiàn)任何異常情況，應立刻關閉交流供電，查找故障原因。

（4）重要提示：各電源輸出不支持長時間短路工作！

（5）本控制電源應在潔凈、通風、干燥的環(huán)境下工作，禁止在潮濕、多灰塵等較惡劣的環(huán)境下使用。

（6）控制電源在運行過程時，禁止隨意移動或劇烈振動。

（7）在保修期內(nèi)，切勿隨意對控制電源內(nèi)部自行改動（如：拆改內(nèi)部線路、變更機械結構等），以免造成整機損壞，不利于今后的維修和維護。

6.配置清單